Нымдуулук таза бөлмөлөрдүн иштешинде жалпы экологиялык көзөмөл шарты болуп саналат. Жарым өткөргүчтүн таза бөлмөсүндөгү салыштырмалуу нымдуулуктун максаттуу мааниси 30дан 50%га чейинки диапазондо болушу үчүн башкарылат, бул ката ±1% тар диапазондун ичинде болушуна мүмкүндүк берет, мисалы, фотолитографиялык аймак - же алыскы ультрафиолет иштетүү (DUV) аймагында андан да кичине. – Башка жерлерде ±5% чегинде эс ала аласыз.
Салыштырмалуу нымдуулук таза бөлмөнүн жалпы иштешине салым кошо турган бир катар факторлорго ээ болгондуктан, анын ичинде:
● бактериялардын көбөйүшү;
● Кызматкерлер бөлмө температурасында сезген комфорттун диапазону;
● Статикалык заряд пайда болот;
● металл коррозиясы;
● Суу буусунун конденсациясы;
● литографиянын бузулушу;
● Сууну сиңирүү.
Бактериялар жана башка биологиялык булгоочу заттар (көгүлтүр, вирустар, козу карындар, кенелер) салыштырмалуу нымдуулугу 60%дан жогору болгон чөйрөдө активдүү көбөйө алышат. Кээ бир флора салыштырмалуу нымдуулук 30% ашканда өсө алат. Салыштырмалуу нымдуулук 40%тен 60%ке чейин болгондо бактериялардын жана респиратордук инфекциялардын таасирин азайтууга болот.
Салыштырмалуу нымдуулук 40%тен 60%ке чейинки диапазондо да адамдар өзүн ыңгайлуу сезген жөнөкөй диапазон болуп саналат. Ашыкча нымдуулук адамдарды депрессияга алып келиши мүмкүн, ал эми 30% дан төмөн нымдуулук адамдарда кургак, жарылып, дем алууда дискомфорт жана эмоционалдык ыңгайсыздыкты сезиши мүмкүн.
Жогорку нымдуулук чындыгында таза бөлмөнүн бетинде статикалык заряддын топтолушун азайтат - бул каалаган натыйжа. Төмөнкү нымдуулук заряддын топтолушу жана электростатикалык разряддын потенциалдуу зыян булагы үчүн ылайыктуу. Салыштырмалуу нымдуулук 50% ашканда статикалык заряд тез тарай баштайт, ал эми салыштырмалуу нымдуулук 30%тен аз болгондо изолятордо же негизсиз бетинде көпкө чейин сакталып калышы мүмкүн.
35% жана 40% ортосундагы салыштырмалуу нымдуулук канааттандырарлык компромисс болушу мүмкүн жана жарым өткөргүч таза бөлмөлөр статикалык заряддын топтолушун чектөө үчүн, адатта, кошумча башкарууну колдонушат.
Көптөгөн химиялык реакциялардын, анын ичинде коррозия процессинин ылдамдыгы салыштырмалуу нымдуулуктун жогорулашына жараша жогорулайт. Таза бөлмөнү курчап турган абага дуушар болгон бардык беттер, жок эле дегенде, бир катмарлуу суу менен капталган. Бул беттер суу менен реакция кыла ала турган жука металл каптоодон турганда, жогорку нымдуулук реакцияны тездетиши мүмкүн. Бактыга жараша, кээ бир металлдар, мисалы, алюминий, суу менен коргоочу кычкыл пайда болот жана андан ары кычкылдануу реакцияларынын алдын алат; бирок башка жагдай, мисалы, жез кычкылы, коргоочу эмес, ошондуктан жогорку нымдуу чөйрөдө, жез беттери коррозияга көбүрөөк кабылышат.
Мындан тышкары, жогорку салыштырмалуу нымдуу чөйрөдө, фоторезист нымдуулуктун сиңирүүсүнө байланыштуу бышыруу циклинен кийин кеңейип, күчөйт. Photoresist адгезиясы да жогорку салыштырмалуу нымдуулук терс таасирин тийгизиши мүмкүн; төмөн салыштырмалуу нымдуулук (болжол менен 30%) фоторезисттин адгезиясын жеңилдетет, атүгүл полимердик модификатордун кереги жок.
Жарым өткөргүч таза бөлмөдө салыштырмалуу нымдуулукту көзөмөлдөө өзүм билемдик эмес. Бирок, убакыт өзгөргөн сайын, жалпы кабыл алынган тажрыйбалардын себептерин жана негиздерин карап чыгуу жакшы.
Нымдуулук биздин адамдын ыңгайлуулугу үчүн өзгөчө байкалбашы мүмкүн, бирок ал көбүнчө өндүрүш процессине чоң таасирин тийгизет, айрыкча нымдуулук жогору болгон жерлерде жана нымдуулук көбүнчө эң начар көзөмөл болуп саналат, ошондуктан таза бөлмөнүн температурасын жана нымдуулугун көзөмөлдөөдө нымдуулук артыкчылыкка ээ.
Посттун убактысы: 01-01-2020